• Магнетрон L600

Магнетрон для прямоугольных мишеней номинальной длиной 600 мм.

Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава.

При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.

Электрические параметры
Особенности 20 А
Магнетрон
Диапазон рабочих давлений 0,07..10 Па
Форма мишени прямоугольная
Максимальная толщина мишени 20 мм
Длина мишени 600 мм
Ширина мишени 80 мм
Рабочее напряжение, В 300..800
Блок питания
Максимальная мощность 18,0 кВт
Максимальное напряжение 2000 В

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Магнетрон L600

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: Магнетрон-600
  • Доступность: Предзаказ

Доступные опции