Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава.

При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.

Магнетрон
Максимальная мощность 12000 Вт
Максимальное напряжение 800 В
Диапазон рабочих давлений 0,05...10 Па
Максимальная толщина мишени 6 мм
Длина мишени 749 мм
Ширина мишени 100 мм
Максимальный ток, А 15 А

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Магнетрон L749

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.276
  • Доступность: Предзаказ

Доступные опции