Высокоэффективный генератор плазмы на основе высокочастотного индукционного разряда.

Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения процессов ионно-плазменной обработки, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.

РПГ-L400 позволяет обеспечить высокую однородность обработки при размещении обрабатываемых изделий на барабане.

Основной элемент генератора - протяжённый индуктор, через который пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц).

Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вакуумным вводом.

Рабочая поверхность защищена съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.

РПГ-L400 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры.

Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов:

• напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
• ионное и плазмохимическое травление;
• испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
• плазмостимулированное осаждение из газовой фазы;
• ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
• ионные очистка и ассистирование.

Устройство предназначено для создания и поддержания газоразрядной низкотемпературной плазмы в рабочих объемах вакуумных технологических установок в непрерывном режиме.