• Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких плёнок

В книге обобщено современное состояние одной из отраслей производства изделий электронной техники: вакуумной технологии нанесения и травления тонких пленок. Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок, плазмохимических установок для травления тонких пленок и технологических особенностей их использования. Описаны математические модели, способы управления и примеры использования реактивного магнетронного напыления, принципы построения и применения среднечастотных источников питания для реактивного магнетронного напыления. Приведены теоретические основы и физические принципы конструирования нового типа источника высокочастотного разряда низкого давления для ионного или плазменного травления тонких пленок и/или их стимулированного плазмой осаждения. Книга рассчитана на специалистов научно-исследовательских лабораторий, конструкторских бюро и производственных подразделений предприятий, занимающихся разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и оборудования для их производства.

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких плёнок

  • Код товара: ㅤ
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
  • 1 200.00 р.

  • Без НДС: 1 000.00 р.

Теги: Книга, Вакуумная технология и оборудование для нанесения и травления тонких плёнок, Основы наноэлектроники и нанотехнологии