В корзине пусто!
Предназначен для распыления мишеней из проводящих материалов в вакууме.Диаметр 100 мм.
Рабочий диапазонот 1·10⁻² до 1·10⁵ ПаДиапазон измеренийот 1·10⁻¹ до 1·10³ Па
Рабочий диапазонот 1·10⁻⁷ до 1 ПаДиапазон измеренийот 1·10⁻⁴ до 1·10⁻¹
Четыре слоя (проводящие, резистивные) в одном цикле.
Предназначен для: ионной очистки, травления, ассистирования, PECVD, полировки и модификации поверхности
Обеспечивает питание для электронно-лучевого испарителя с кольцевой нитью.
Обеспечивает питание и управление двумя электронно-лучевыми испарителями (ЭЛИ)
Аксиальная электронная пушка
