Магнетрон D100

Предназначен для распыления мишеней из проводящих материалов в вакууме.

Вакуумметр Пирани терморезистивный цифровой ВТРЦ-ДТВ

Предназначен для преобразования абсолютного давления от 0.1 до 10⁵ Па в электрический цифровой сигнал в автоматизированных вакуумных системах промышленного, экспериментального и учебного назначения совместно с манометрическим терморезистивным преобразователем типа "Пирани" ДТВ-01. 

Установка напыления с плазменной очисткой НИКА-137

Напыление тонких металлов (до 3 мкм) с контролем толщины, предварительной очисткой и нагревом

Вакуумметр магниторазрядный цифровой ВМЦ01

Предназначен для преобразования абсолютного давления в дапазоне 1..1·10^-7 Па в электрический цифровой сигнал.

Блок питания электронно-лучевого испарителя

Обеспечивает питание накалов и анодного напряжения двух электронно-лучевых испарителей (ЭЛИ) с индивидуальными настройками для каждого.

Установка магнетронного напыления НИКА-135

Четыре слоя (проводящих, резистивных) в одном цикле.

Источник ионов L400

Предназначен для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 500-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Генератор плазмы РПГ-128

Предназначен для создания плазмы высокой плотности в технологическом объёме.

Позволяет сконцентрировать высокочастотную мощность в небольшом объёме для получения высокой интенсивности обработки.