Вакуумметр Пирани терморезистивный цифровой ВТ-РЦ01

Рабочий диапазон
от 1·10⁻² до 1·10⁵ Па
Диапазон измерений
от 1·10⁻¹ до 1·10³ Па

Вакуумметр магниторазрядный цифровой ВМ-Ц01

Рабочий диапазон
от 1·10⁻⁷ до 1 Па
Диапазон измерений
от 1·10⁻⁴ до 1·10⁻¹

Электронная пушка ЭПА-120

Установка нанесения PVD покрытий НИКА-145

Магнетронное и термическое напыление 3-х тонких пленок с контролем толщины.

Установка нанесения PVD покрытий НИКА-154 (Установка двусторонней металлизации)

двухстороннее магнетронное напыление толстой (1..50 мкм) металлизации

Установка нанесения PVD покрытий НИКА-158 (установка магнетронного напыления)

Магнетронное напыление с ионной очисткой с трёх мишеней. 

НИКА-127 Вакуумная шлюзовая установка

Плазмохимическое травление в вакууме 

Затвор вакуумный щелевой ЗВЩ-287