Электронная аксиальная пушка серии ЭПА

Электронные пушки серии ЭПА предназначены для генерации и управления высокоэнергетическим электронным пучком в вакуумных установках. Агрегат объединяет в одном корпусе источник электронов с вольфрамовым накальным катодом, магнитную линзу, системы фокусировки и отклонения.

Технические характеристики и модификации

Выходные параметры пушки зависят от диаметра установленного катода. При работе на максимальном анодном напряжении 35 кВ (рабочий диапазон 20–35 кВ) достигаются следующие показатели:

• Катод Ø12 мм: ток до 5 А, мощность до 175 кВт.
• Катод Ø15 мм: ток до 8 А, мощность до 280 кВт.
• Катод Ø20 мм: ток до 16 А, мощность до 560 кВт.

Система управления

Для прецизионного управления и фокусировки пучка используется блок управления электронным лучом (БУЭЛ 361). Система обеспечивает:

• Статическое и динамическое отклонение луча в пределах ±45°.
• Максимальную частоту развертки до 500 Гц.
• Плавную регулировку мощности через ток эмиссии или величину ускоряющего напряжения.

Вакуумная система

• Требования к откачке: необходимо наличие высоковакуумного насоса производительностью не менее 300 л/с.
• Автономность: встроенный высоковакуумный затвор позволяет производить напуск воздуха в пушку и её независимую откачку без разгерметизации технологической камеры (например, для оперативной замены катода).
• Повышенная стабильность: при работе в условиях сильного газовыделения (черновой переплав и др.) предусмотрена возможность установки дополнительной ступени дифференциальной откачки.

Конструктивные преимущества

• Универсальность: широкий диапазон мощностей позволяет одной пушкой выполнять как тонкие операции, так и интенсивный нагрев.
• Гибкость монтажа: откачной патрубок и оси отклоняющей системы позиционируются под любым углом относительно технологической установки.
• Компактность: воздушное охлаждение катодного узла; питание через три высоковольтных кабеля сечением 4 мм².

Модернизация

Пушки серии ЭПА являются прямой эффективной заменой выработавших ресурс агрегатов серий ЭП (СССР), а также систем ЕН и KSR (Германия).

Производитель: ООО "Лаборатория вакуумных технологий плюс"