Использование ионных источников обеспечивает надежное травление (очистку) подложек, высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.

Ионные источники с холодным катодом производства ООО «ЛВТ+» относятся к классу ускорителей с анодным слоем (УАС). Отличаются простотой и удобством в эксплуатации и высокой надежностью. Выдерживают более 10 лет интенсивной эксплуатации. Процессы перезарядки быстрых ионов позволяют использовать данные ионные источники без катодов-компенсаторов, что упрощает эксплуатацию. Ионные источники типа УАС могут работать в высоковольтном режиме, также возможен сильноточный режим. Выпускаются две конфигурации: круглые, с трубчатым пучком, и протяженные, у которых есть значительный линейный участок.

Задачи, решаемые при помощи данных источников:

  • ионно-лучевое распыление (работа с небольшими дорогостоящими мишенями),
  • ионное ассистирование при напылении,
  • ионное травление подложек.

Использование ионных источников обеспечивает надежное травление (очистку) подложек, высокую адгезию материала и структурное совершенство напыляемых пленок.


Источник ионов D52

Источник ионов D52

Предназначен для эффективного распыления металлов, ассистирования при магнетронном напылении тонких пленок проводящих материалов.

Цена договорная

Источник ионов ИИ-125

Источник ионов ИИ-125

Предназначен для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 500-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Цена договорная

Источник ионов ИИ-145

Источник ионов ИИ-145

Предназначен для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 500-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Цена договорная

Источник ионов ИИ-250

Источник ионов ИИ-250

Предназначен для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 500-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Цена договорная

Источник ионов ИИ-280

Источник ионов ИИ-280

Предназначен для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 500-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Цена договорная

Источник ионов ИИ-400

Источник ионов ИИ-400

Предназначен для: ионной очистки, травления, ассистирования, PECVD, полировки и модификации поверхности

Цена договорная

Источник ионов ИИ-500

Источник ионов ИИ-500

Предназначен для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 500-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Цена договорная

Источник ионов ИИ-600

Источник ионов ИИ-600

Устройство предназначено для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 300-2500 эВ

Цена договорная

Источник ионов ИИ-700

Источник ионов ИИ-700

Предназначен для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 500-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Цена договорная

Показано с 1 по 9 из 9 (всего 1 страниц)