В корзине пусто!
Двухстороннее магнетронное напыление в одном цикле с контролем толщины
Напыление 3-х материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой
Многослойная металлизация на кремний в одном цикле
Четыре слоя (проводящих, резистивных) в одном цикле.
Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле
Напыление тонких металлов (до 3 мкм) с контролем толщины, предварительной очисткой и нагревом
Установка специального применения со сменными барабанами
Напыление магнетроном и испарителями слоёв до 3 мкм, контроль толщины, подача порошка из вибробункера
