В корзине пусто!
"ЛВТ+" специально для производства ГИС (гибридных интегральных схем) - разработал комплекс вакуумных установок напыления проводящих и резистивных слоёв, травления.
В зависимости от требований вашего производства Вы сможете выбрать исполнения:
- с низкой и высокой производительностью (от 60 до 130 пластин в одном цикле)
- с одно и двух сторонним напылением,
- с высокоскоростным напылением (скорость напыления до 1 мкм/мин по меди).
Все установки выполнены на базе стандартных решений ЛВТ+, на базе вакуумных постов НИКА.
Широкий спектр готовых, отработанных решений готов к решению ваших задач.
Магнетронное напыление с ионной очисткой
Цена договорная
Двухстороннее магнетронное напыление в одном цикле с контролем толщины
Напыление 3-х материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой
Магнетронное и термическое напыление 3-х тонких пленок с контролем толщины.
Двухстороннее вакуумное термическое и электронно-лучевое напыление с ионной очисткой
Четыре слоя (проводящих, резистивных) в одном цикле.
Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле
Двухстороннее скоростное магнетронное напыление "толстых" металлических слоев на кремниевые подложки
Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123
Установка специального применения со сменными барабанами
