Комплекс установок для ГИС

"ЛВТ+" специально для производства ГИС  (гибридных интегральных схем) - разработал комплекс вакуумных установок напыления проводящих и резистивных слоёв, травления.

В зависимости от требований вашего производства Вы сможете выбрать исполнения:

- с низкой и высокой производительностью (от 60 до 130 пластин в одном цикле)

- с одно и двух сторонним напылением,

- с высокоскоростным напылением (скорость напыления до 1 мкм/мин по меди).

Все установки выполнены на базе стандартных решений ЛВТ+, на базе вакуумных постов НИКА.

Широкий спектр готовых, отработанных решений готов к решению ваших задач.


Компактная  установка НИКА-158

Компактная установка НИКА-158

Магнетронное напыление с ионной очисткой

Цена договорная

Компактная многофункциональная установка НИКА-146

Компактная многофункциональная установка НИКА-146

Двухстороннее магнетронное напыление в одном  цикле с контролем толщины

Цена договорная

Малогабаритная установка магнетронного напыления НИКА-138

Малогабаритная установка магнетронного напыления НИКА-138

Напыление 3-х материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой 

Цена договорная

Установка вакуумного напыления НИКА-145

Установка вакуумного напыления НИКА-145

Магнетронное и термическое напыление 3-х тонких пленок с контролем толщины.

Цена договорная

Установка магнетронного напыления НИКА-135

Установка магнетронного напыления НИКА-135

Четыре слоя (проводящих, резистивных) в одном цикле.

Цена договорная

Установка магнетронного напыления НИКА-140

Установка магнетронного напыления НИКА-140

Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле

Цена договорная

Установка магнетронного напыления НИКА-154

Установка магнетронного напыления НИКА-154

Двухстороннее скоростное магнетронное напыление "толстых" металлических слоев на кремниевые подложки

Цена договорная

Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123

Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123

Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123 

Цена договорная

Установка одно-двухстороннего напыления НИКА-136

Установка одно-двухстороннего напыления НИКА-136

Установка специального применения со сменными барабанами

Цена договорная

Установка термического напыления НИКА-150

Установка термического напыления НИКА-150

Двухстороннее вакуумное термическое и электронно-лучевое напыление с ионной очисткой

Цена договорная

Показано с 1 по 10 из 10 (всего 1 страниц)