Комплекс установок для ГИС

"ЛВТ+" специально для производства ГИС  (гибридных интегральных схем) - разработал комплекс вакуумных установок напыления проводящих и резистивных слоёв, травления.

В зависимости от требований вашего производства Вы сможете выбрать исполнения:

- с низкой и высокой производительностью (от 60 до 130 пластин в одном цикле)

- с одно и двух сторонним напылением,

- с высокоскоростным напылением (скорость напыления до 1 мкм/мин по меди).

Все установки выполнены на базе стандартных решений ЛВТ+, на базе вакуумных постов НИКА.

Широкий спектр готовых, отработанных решений готов к решению ваших задач.


НИКА-123 Установка напыления проводящих слоёв

НИКА-123 Установка напыления проводящих слоёв

Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123 

Цена договорная

НИКА-135 Установка магнетронного напыления

НИКА-135 Установка магнетронного напыления

Четыре слоя (проводящих, резистивных) в одном цикле.

Цена договорная

НИКА-136 Установка одно-двухстороннего напыления

НИКА-136 Установка одно-двухстороннего напыления

Установка специального применения со сменными барабанами

Цена договорная

НИКА-138 Малогабаритная установка магнетронного напыления

НИКА-138 Малогабаритная установка магнетронного напыления

Напыление 3-х материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой 

Цена договорная

НИКА-140 Установка магнетронного напыления

НИКА-140 Установка магнетронного напыления

Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле

Цена договорная

НИКА-145 Установка вакуумного напыления

НИКА-145 Установка вакуумного напыления

Магнетронное и термическое напыление 3-х тонких пленок с контролем толщины.

Цена договорная

НИКА-146 Компактная многофункциональная установка

НИКА-146 Компактная многофункциональная установка

Двухстороннее магнетронное напыление в одном  цикле с контролем толщины

Цена договорная

НИКА-150 Установка термического напыления

НИКА-150 Установка термического напыления

Двухстороннее вакуумное термическое и электронно-лучевое напыление с ионной очисткой

Цена договорная

НИКА-154 Установка магнетронного напыления

НИКА-154 Установка магнетронного напыления

Двухстороннее скоростное магнетронное напыление "толстых" металлических слоев на подложки

Цена договорная

НИКА-158 Компактная  установка

НИКА-158 Компактная установка

Напыление тонкой пленки серебра, в том числе на металлопленочные резисторы открытого типа.
Магнетронное напыление с ионной очисткой.

Цена договорная

Показано с 1 по 10 из 10 (всего 1 страниц)