Установка вакуумного напыления «Ника-15803»

Назначение: Высокопроизводительное нанесение тонкопленочных резистивных слоев, металлов и сплавов на плоские подложки методом магнетронного распыления.

ОСНОВНЫЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ

• Конфигурация напыления: Система оснащена тремя независимыми планарными DC-магнетронами. Поочередная работа магнетронов позволяет получать широкий диапазон номиналов сопротивлений и формировать многослойные структуры без разгерметизации камеры.
• Прецизионный контроль: Использование «свидетеля сопротивления» непосредственно на барабане гарантирует высокую точность достижения заданного номинала в каждом цикле.
• Реактивные процессы: Трехканальная система напуска газов (Ar, O₂, N₂) позволяет корректировать удельное сопротивление и температурный коэффициент сопротивления (ТКС).
• Подготовка поверхности: Встроенный ионный источник для предварительной очистки подложек ионами кислорода обеспечивает максимальную адгезию слоев.

ЭФФЕКТИВНОСТЬ И ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ

• Высокая загрузка: Вертикальный барабан на 72 подложки (60х48 мм). Вертикальное расположение исключает попадание «шелухи» на рабочую поверхность.
• Термическая подготовка: Нагреватель из углеродного композита (3 кВт) для быстрого нагрева подложек до температур 200–350 °C.
• Динамика вакуума: Выход на рабочий вакуум 3·10^-3 Па за 10 минут. Полный технологический цикл: 40–60 минут.
• Повторяемость: Равномерность параметров ±2% по подложке и ±3% по загрузке/между партиями.

АВТОМАТИЗАЦИЯ И СЕРВИС

• Управление: Полная автоматизация на базе промышленного контроллера с открытым ПО и неограниченной базой технологических рецептов.
• Обслуживание: Выдвижной фланец и легкосъемные внутренние экраны максимально упрощают процедуру очистки и технического обслуживания.
• Габариты: Компактное исполнение 1400х2000х1000 мм.

Гарантия: 24 месяца. Срок монтажа, пуско-наладки и инструктажа персонала: 1 неделя.