В корзине пусто!
Напыление 3-х материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой
Многослойная металлизация на кремний в одном цикле
Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле
Напыление тонких металлов (до 3 мкм) с контролем толщины, предварительной очисткой и нагревом
Напыление магнетроном и испарителями слоёв до 3 мкм, контроль толщины, подача порошка из вибробункера
