НИКА-2013

НИКА-2013

Серия НИКА-2013: современный аналог машин серии УВН-73...75.
Многолетний опыт работы компании показал необходимость создания серии установок для серийного производства под большие загрузки/партии продукции в электронике и машиностроении. Специально под эти задачи создана серия  НИКА-2013. На базе НИКА-2013 уже 7 лет изготавливаются установки различного назначения.

В базовой комплектации серии (вакуумный пост НИКА 2013ВП) уже предусмотрены: вакуумная камера (Ø700х550 мм) со смотровыми окнами, подвижными и поворотными горизонтальными фланцами для размещения технологических устройств и загрузки, интегрированные в стойку (шкаф), где штатно размещены системы управления, откачки, охлаждения. В вакуумных постах серии НИКА-2013 предусмотрены:
     •в камере - системы охлаждения, сменных защитных экранов.
     •на заднем фланце ( фланце устройств) - 7 унифицированных посадочных мест для технологических устройств
     •на переднем (рабочем) фланце - унифицированные посадочные места для размщения смотровых окон с заслонками, ввода вращения, которые могут быть использованы для размещения технологических устройств
     •в стойке - предусмотрены посадочные места для размещения блоков вакуумной установки,
     •загрузка размещается либо на вертикальной карусели, либо на горизонтальном барабане на рабочем  переднем фланце.
Основные технические параметры
     •Площадь размещения установки с зоной обслуживания – 7м2.
     •Электропитание: 380В, 50 Гц, 8..15 кВт.
     •Габариты: 1620..1800 х 1420..2400 х 1900..2100.
     •Масса: 500..950 кг.
Остальные подключения: вода, рабочие газы, сжатый воздух - определяются техническими требованиями проектируемой установки.
Как показала практика применения установки серии НИКА-2013 оказались очень удачными и для серийного производства. Установки серии уже несколько лет работают на отечественных предприятиях. Гибкая модульная конструкция позволяет легко проводить их последующие модернизации. На базе серии НИКА-2013 изготовлена отдельная серия установок с уменьшенной камерой - НИКА-2013-500.






Установка магнетронного напыления НИКА-133

Установка магнетронного напыления НИКА-133

Многослойная металлизация на кремний в одном цикле

Установка магнетронного напыления НИКА-135

Установка магнетронного напыления НИКА-135

Четыре слоя (проводящих, резистивных) в одном цикле.

Установка магнетронного напыления НИКА-140

Установка магнетронного напыления НИКА-140

Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле

Установка магнетронного напыления НИКА-149

Установка магнетронного напыления НИКА-149

Напыление никеля толщиной 9 мкм кольцевым магнетроном с нагревом и ионной очисткой.

Установка магнетронного напыления НИКА-154

Установка магнетронного напыления НИКА-154

Двухстороннее скоростное магнетронное напыление "толстых" металлических слоев на кремниевые подложки

Установка одно-двухстороннего напыления НИКА-136

Установка одно-двухстороннего напыления НИКА-136

Установка специального применения со сменными барабанами

Установка плазмохимического  травления НИКА-134

Установка плазмохимического травления НИКА-134

Травление кремниевых пластин высокочастотным магнетроном

Показано с 1 по 7 из 7 (всего 1 страниц)