НИКА-2013
Серия НИКА-2013: современный аналог машин серии УВН-73...75.
Многолетний опыт работы компании показал необходимость создания серии установок для серийного производства под большие загрузки/партии продукции в электронике и машиностроении. Специально под эти задачи создана серия НИКА-2013. На базе НИКА-2013 уже 7 лет изготавливаются установки различного назначения.
В базовой комплектации серии (вакуумный пост НИКА 2013ВП) уже предусмотрены: вакуумная камера (Ø700х550 мм) со смотровыми окнами, подвижными и поворотными горизонтальными фланцами для размещения технологических устройств и загрузки, интегрированные в стойку (шкаф), где штатно размещены системы управления, откачки, охлаждения. В вакуумных постах серии НИКА-2013 предусмотрены:
•в камере - системы охлаждения, сменных защитных экранов.
•на заднем фланце ( фланце устройств) - 7 унифицированных посадочных мест для технологических устройств
•на переднем (рабочем) фланце - унифицированные посадочные места для размщения смотровых окон с заслонками, ввода вращения, которые могут быть использованы для размещения технологических устройств
•в стойке - предусмотрены посадочные места для размещения блоков вакуумной установки,
•загрузка размещается либо на вертикальной карусели, либо на горизонтальном барабане на рабочем переднем фланце.
Основные технические параметры
•Площадь размещения установки с зоной обслуживания – 7м2.
•Электропитание: 380В, 50 Гц, 8..15 кВт.
•Габариты: 1620..1800 х 1420..2400 х 1900..2100.
•Масса: 500..950 кг.
Остальные подключения: вода, рабочие газы, сжатый воздух - определяются техническими требованиями проектируемой установки.
Установки серии НИКА-2013 очень удачны и для серийного производства, уже несколько лет работают на отечественных предприятиях. Гибкая модульная конструкция позволяет легко проводить их последующие модернизации. На базе серии НИКА-2013 изготовлена отдельная серия установок с уменьшенной камерой - НИКА-2013-500.
НИКА-123 Установка напыления проводящих слоёв
Цена договорная
НИКА-133 Установка магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-134 Установка плазмохимического травления
Цена договорная
НИКА-135 Установка магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-140 Установка магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-150 Установка термического напыления
Цена договорная
НИКА-154 Установка магнетронного напыления
Цена договорная