Установка магнетронного напыления НИКА-154 предназначена для двухстороннего магнетронного напыления контактных металлических слоев Cr, Ni, Ti, Ag, Cu толщиной 70-500 мкм на кремниевые подложки двух типоразмеров: ∅76 мм и ∅100 мм.

Установка НИКА-154 выполнена на базе вакуумного поста НИКА-2013, в едином конструктиве размещены средства откачки, управления, охлаждения, технологические устройства и блоки питания.

Технологические устройства:

- Источник ионов ИИ-280;

- Сдвоенный жидкофазный магнетрон 2х100К (Cu);

- Протяженный магнетрон L300 (Cr, Ni, Ti) 2 шт.;

- Двухпозиционный магнетрон - 2х100К;

- Нагреватель L300.

Одновременно обрабатывается с 2-х сторон ∅76 мм (45 шт.) или ∅100 мм (30 шт.).

Все технологические устройства размещаются на заднем фланце. Загрузка проводится с переднего (рабочего) фланца.

Система управления оснащена: системой контроля толщины напыленного слоя (по значению удельного сопротивления) по свидетелю сопротивления; датчиком температуры нагрева подложек; позиционируемой заслонкой. Все процессы автоматизированы, управление с сенсорной панели компьютера. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.

Электрические параметры
Мощность 25,3 кВт
Напряжение питания 380 В
Подключение к сети TN-S
Максимальная потребляемая мощность 26 кВт

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка магнетронного напыления НИКА-154

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.154
  • Доступность: Предзаказ