Ника-2012

Ника-2012
Серия «Ника-2012»: современный аналог колпаковых машин серии УВН-71. Камера из нержавеющей стали Ø400х350 либо Ø500х400 мм с рубашкой охлаждения. Интегральное бесстоечное исполнение. Безмасляная откачка (турбомолекулярный или криогенный насос). Площадь с зоной обслуживания – 3 м2, в плане — 2 м2.


Подвижный нижний фланец: 4 позиции ISO63 для устройств на выбор: магнетроны, ионный источник, генератор плазмы, термические испарители. Плоская карусель для односторонней обработки (6 круглых подложек Ø100 мм, либо 12 – прямоугольных 60х48 мм), либо система с переворотом подложек — для двусторонней. Быстрая замена карусели под различные подложки. Заслонка с автоматическим приводом.
Верхний фланец: предусмотрена возможность установки нагревателя и кварцевого измерителя толщины покрытий. 5 отверстий ISO63.
3 смотровых окна, оборудованных заслонками. Вместо любого окна может устанавливаться фланец ISO160 с дополнительным оборудованием.

Электропитание: 380В, 50 Гц, 8..15 кВт. 
Габариты: 850..1415 х 900..1100 х 1750..1900. 
Масса: 300..600 кг.
В серии «Ника-2012» для решения типовых задач разработаны следующие базовые конфигурации: напылительные установки ИН (ионное напыление), РС (напыление резистивных слоев), ПС (напыление проводящих слоев), ТН (термическое напыление),  и плазмохимические МО/МТ (магнетронное осаждение/травление).
Все установки полностью автоматизированы, функционируют под управлением компьютерной программы, обеспечивающей автоматизацию работы вакуумной системы и технологического процесса. Предусмотрен ручной режим работы для отладки технологии и диагностики системы, а также полностью автоматическое проведение технологических процессов по рецептам.

Ника - 2012-ВП Вакуумный пост

Ника - 2012-ВП Вакуумный пост

Малогабаритный универсальный вакуумный пост с вертикальной камерой для малосерийного производства и экспериментальных работ

Цена договорная

НИКА-130 Установка ионного травления

НИКА-130 Установка ионного травления

Обработка изделий сложной формы, ионная очистка и травление ионном пучком средних энергий (500..2000 эВ) 

Цена договорная

НИКА-137 Установка напыления с плазменной очисткой

НИКА-137 Установка напыления с плазменной очисткой

Напыление тонких металлов (до 3 мкм) с контролем толщины, предварительной очисткой и нагревом

Цена договорная

НИКА-138 Малогабаритная установка магнетронного напыления

НИКА-138 Малогабаритная установка магнетронного напыления

Напыление 3-х материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой 

Цена договорная

НИКА-138-01 Установка термического и магнетронного напыления

НИКА-138-01 Установка термического и магнетронного напыления

Напыление магнетроном и испарителями слоёв до 3 мкм, контроль толщины, подача порошка из вибробункера


Цена договорная

НИКА-145 Установка вакуумного напыления

НИКА-145 Установка вакуумного напыления

Магнетронное и термическое напыление 3-х тонких пленок с контролем толщины.

Цена договорная

НИКА-146 Компактная многофункциональная установка

НИКА-146 Компактная многофункциональная установка

Двухстороннее магнетронное напыление в одном  цикле с контролем толщины

Цена договорная

НИКА-146-02 Компактная многофункциональная установка

НИКА-146-02 Компактная многофункциональная установка

Нанесение функциональных покрытий на инструмент и турбинные лопатки.

Цена договорная

НИКА-148 Установка ионно-плазменного напыления

НИКА-148 Установка ионно-плазменного напыления

Напыление металлопленочных покрытий толщиной -0,5..30 мкм (Ti) и 0,1..5 мкм (Mo) на диэлектрические подложки.

Цена договорная

НИКА-149 Установка магнетронного напыления

НИКА-149 Установка магнетронного напыления

Напыление никеля толщиной 9 мкм кольцевым магнетроном с нагревом и ионной очисткой.

Цена договорная

НИКА-153 Установка ионного распыления

НИКА-153 Установка ионного распыления

Напыление прозрачных проводящих покрытий на слои органических и металлоорганических полупроводников ионным распылением.

Цена договорная

НИКА-155 Установка ионного травления

НИКА-155 Установка ионного травления

Обработка изделий сложной формы ионном пучком средних энергий (500..2000 эВ) за счёт ионного источника  - ускоритель с анодным слоем (УАС)

Цена договорная

НИКА-158 Компактная  установка

НИКА-158 Компактная установка

Напыление тонкой пленки серебра, в том числе на металлопленочные резисторы открытого типа.
Магнетронное напыление с ионной очисткой.

Цена договорная

Показано с 1 по 13 из 13 (всего 1 страниц)