Ника-2012

Ника-2012
Серия «Ника-2012»: современный аналог колпаковых машин серии УВН-71. Камера из нержавеющей стали Ø400х350 либо Ø500х400 мм с рубашкой охлаждения. Интегральное бесстоечное исполнение. Безмасляная откачка (турбомолекулярный или криогенный насос). Площадь с зоной обслуживания – 3 м2, в плане — 2 м2.


Подвижный нижний фланец: 4 позиции ISO63 для устройств на выбор: магнетроны, ионный источник, генератор плазмы, термические испарители. Плоская карусель для односторонней обработки (6 круглых подложек Ø100 мм, либо 12 – прямоугольных 60х48 мм), либо система с переворотом подложек — для двусторонней. Быстрая замена карусели под различные подложки. Заслонка с автоматическим приводом.
Верхний фланец: предусмотрена возможность установки нагревателя и кварцевого измерителя толщины покрытий. 5 отверстий ISO63.
3 смотровых окна, оборудованных заслонками. Вместо любого окна может устанавливаться фланец ISO160 с дополнительным оборудованием.

Электропитание: 380В, 50 Гц, 8..15 кВт. 
Габариты: 850..1415 х 900..1100 х 1750..1900. 
Масса: 300..600 кг.
В серии «Ника-2012» для решения типовых задач разработаны следующие базовые конфигурации: напылительные установки ИН (ионное напыление), РС (напыление резистивных слоев), ПС (напыление проводящих слоев), ТН (термическое напыление),  и плазмохимические МО/МТ (магнетронное осаждение/травление).
Все установки полностью автоматизированы, функционируют под управлением компьютерной программы, обеспечивающей автоматизацию работы вакуумной системы и технологического процесса. Предусмотрен ручной режим работы для отладки технологии и диагностики системы, а также полностью автоматическое проведение технологических процессов по рецептам.

Компактная многофункциональная установка НИКА-146

Компактная многофункциональная установка НИКА-146

Двухстороннее магнетронное напыление в одном  цикле с контролем толщины

Малогабаритная установка магнетронного напыления НИКА-138

Малогабаритная установка магнетронного напыления НИКА-138

Напыление 3-х материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой 

НИКА-2012-ВП

НИКА-2012-ВП

Малогабаритный унифицированный вакуумный пост с вертикальной камерой для "малосерийки" и экспериментальных работ

Установка ионного травления НИКА-130

Установка ионного травления НИКА-130

Обработка изделий сложной формы ионном пучком средних энергий (500..2000 эВ)

Установка магнетронного напыления НИКА-149

Установка магнетронного напыления НИКА-149

Напыление никеля толщиной 9 мкм кольцевым магнетроном с нагревом и ионной очисткой.

Установка напыления с плазменной очисткой НИКА-137

Установка напыления с плазменной очисткой НИКА-137

Напыление тонких металлов (до 3 мкм) с контролем толщины, предварительной очисткой и нагревом

Установка термического и магнетронного напыления НИКА-138-01

Установка термического и магнетронного напыления НИКА-138-01

Напыление магнетроном и испарителями слоёв до 3 мкм, контроль толщины, подача порошка из вибробункера


Показано с 1 по 7 из 7 (всего 1 страниц)