Малогабаритная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-12-500, камера оснащена 3-мя смотровыми окнами.

Откачка сухая безмасляная (НВК-160 и НВСп-12).

Установка предназначена для нанесения методом резистивного испарения тонких слоев металлов толщиной до 3 мкм, на одном из испарителей реализована функция дозированной подачи материала - установлен вибробункер оригинальной конструкции.

Установкой магнетрона реализована функция нанесения подслоя с контролем толщины в момент нанесения слоёв

На нижнем (рабочем) фланце расположены технологические устройства:

  • два термических испарителя;
  • источник ионов ИИ-145 для очистки поверхности подложек;
  • магнетрон типа Д100 (в специальном исполнении);
  • нагреватель;
  • вибробункер с регулируемой подачей порошка напыляемого материала;
  • позиционируемая заслонка;
  • карусель ( 8 секторных носителей для подложек 60 х 48 мм);
  • свидетель сопротивления и датчик температуры.

Суммарная загрузка - 15 пластин (60 х 48 мм).

В комплекте поставки:

  • комплект защитных экранов;
  • комплект носителей;
  • система автоматического оборотного водоснабжения (СОВА).

Все процессы автоматизированы, управление и контроль процессами с сенсорной панели компьютера, дистанционный доступ предусмотрен.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Мощность, КВт 22 кВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
Время достижения рабочего вакуума, мин. не более 10 мин
Количество каналов газонапуска, шт 3
Масса, кг 800 кг (+100кг компрессорная установка, + 24 кг. Форвакуумный насос)
Охлаждающая жидкость Дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон
Рабочий вакуум, Па 5·10-3 Па

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка термического и магнетронного напыления НИКА-138-01

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.138. 00.00.00.000-01
  • Доступность: Предзаказ
  • Цена договорная


Теги: НИКА-138-01, 138-01