Малогабаритная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-12-500, камера оснащена 3-мя смотровыми окнами.

Откачка сухая безмасляная - турбомолекулярный и сухой спиральный насосы.

Установка предназначена для нанесения методом резистивного испарения тонких слоев металлов толщиной до 3 мкм, на одном из испарителей реализована функция дозированной подачи материала - установлен вибробункер оригинальной конструкции.

Установкой магнетрона реализована функция нанесения подслоя с контролем толщины в момент нанесения слоёв

На нижнем (рабочем) фланце расположены технологические устройства:

• два термических испарителя; каждый может быть укомплектован вибробункером для подачи порошка;
• источник ионов ИИ-125 для очистки поверхности подложек;
• магнетрон типа Д100 (в специальном исполнении);
• нагреватель;
• позиционируемая заслонка;
  
• карусель ( 8 секторных носителей для подложек 60 х 48 мм);
• свидетель сопротивления и датчик температуры.

Суммарная загрузка - 15 пластин (60 х 48 мм).

В комплекте поставки:

• комплект защитных экранов;
• комплект носителей;
• система автоматического оборотного водоснабжения (СОВА).

Все процессы автоматизированы, управление и контроль процессами с сенсорной панели компьютера, дистанционный доступ предусмотрен.