Установки нанесения резистивных слоёв

Установки нанесения резистивных слоёв используются для осаждения с контролем поверхностного сопротивления методом магнетронного распыления и термического испарения. Резистивные слои используются при тонкоплёночной технологии производства гибридных интегральных схем (ГИС), прецизионных и мощных резисторов, датчиков температуры, тензодатчиков.
Резистивные функциональные слои, получаемые вакуумными методами нанесения покрытий могут представлять собой:
- тонкие металлические плёнки (тантал, платина, хром, нихром), применяются для изготовления термо- и тензодатчиков, мощных прецизионных резисторов
- специальные резистивные сплавы, обладающие высокой стабильностью и низким ТКС в широком диапазоне температур
- одно- и многокомпонентные нитриды, позволяющие получать стабильные резисторы, сохраняющие свои параметры при высокой рабочей температуре, с контролируемым ТКС
- оксиды, используются для получения прозрачных проводящих покрытий
Наиболее удобным и универсальным методом нанесения резистивных слоёв является магнетронное напыление, позволяющее получать все перечисленные выше виды плёнок в одной системе с быстрой сменой технологии. Магнетронное напыление позволяет осуществлять в том числе и такие технологические процессы, которые невозможно реализовать другими методами, например совместное напыление двух различных материалов одновременно. Для совместимости с технологическими требованиями, разработанными до широкого распространения метода магнетронного напыления, можно производить напыление резистивных слоёв методом термического испарения в вакууме, в том числе взрывным испарением с подачей порошка исходного материала из вибробункера.
НИКА-135 Установка магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-138 Малогабаритная установка магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-138-01 Установка термического и магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-140 Установка магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-145 Установка вакуумного напыления
Цена договорная
НИКА-146 Компактная многофункциональная установка
Цена договорная
НИКА-150 Установка термического напыления
Цена договорная
НИКА-153 Установка ионного распыления
Цена договорная
НИКА-154 Установка магнетронного напыления
Цена договорная
НИКА-158 установка магнетронного напыления
Цена договорная