Установки нанесения резистивных слоёв

Установки нанесения резистивных слоёв

Установки нанесения резистивных слоёв используются для осаждения с контролем поверхностного сопротивления методом магнетронного распыления и термического испарения. Резистивные слои используются при тонкоплёночной технологии производства гибридных интегральных схем (ГИС), презизионных и мощных резисторов, датчиков температуры, тензодатчиков.

Резистивные функциональные слои, получаемые вакуумными методами нанесения покрытий могут представлять собой:

  • тонкие металлические плёнки (тантал, платина, хром, нихром), применяются для изготовления термо- и тензодатчиков, мощных прецизионных резисторов
  • специальные резистивные сплавы, обладающие высокой стабильностью и низки ТКС в широком диапазоне температур
  • одно- и многокомпонентные нитриды, позволяющие получать стабильные резисторы, сохраняющие свои параметры при высокой рабочей температуре, с контролируемым ТКС
  • оксиды, используются для получения прозрачных проводящих покрытий

Наиболее удобным и универсальным методом нанесения резистивных слоёв является магнетронное напыление, позволяющее получать все перечисленные выше виды плёнок в одной системе с быстрой сменой технологии. Магнетронное напыление позволяет осуществлять в том числе и такие технологические процессы, которые невозможно реализовать другими методами, например совместное напыление двух различных материалов одновременно. Для совместимости с технологическими требованиями, разработанными до широкого распространения метода магнетронного напыления, можно производить напыление резистивных слоёв методом термического испарения в вакууме, в том числе взрывным испарением с подачей порошка исходного материала из вибробункера.


Компактная многофункциональная установка НИКА-146

Компактная многофункциональная установка НИКА-146

Двухстороннее магнетронное напыление в одном  цикле с контролем толщины

Установка ионного распыления НИКА-153

Установка ионного распыления НИКА-153

Напыление прозрачных проводящих покрытий на слои органических и металлоорганических полупроводников ионным распылением.

Установка магнетронного напыления НИКА-135

Установка магнетронного напыления НИКА-135

Четыре слоя (проводящих, резистивных) в одном цикле.

Установка магнетронного напыления НИКА-140

Установка магнетронного напыления НИКА-140

Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле

Установка одно-двухстороннего напыления НИКА-136

Установка одно-двухстороннего напыления НИКА-136

Установка специального применения со сменными барабанами

Установка термического и магнетронного напыления НИКА-138-01

Установка термического и магнетронного напыления НИКА-138-01

Напыление магнетроном и испарителями слоёв до 3 мкм, контроль толщины, подача порошка из вибробункера


Показано с 1 по 6 из 6 (всего 1 страниц)