Откачка сухая, безмаслянная. Средства откачки - турбомолекулярный и форвакуумный насос. Форвакуумный насос размещается за габаритами установки.

Вакуумная камера горизонтальная, водоохлаждаемая, оснащена смотровым окном.

Установка специального назначения, удачный компромисс между 2012 и 2013 сериями: конструкция вакуумного поста - 2012 с горизонтальной камерой, а крепление фланца - аналогично серии 2013.

Технологические устройства:

- источник ионов ИИ-250;

- стол водоохлаждаемый;

- свидетель сопротивления.

В установку встроена автоматическая система автоматического водоснабжения (СОВА).

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А	7 А
Мощность, кВт	4,4 КВт
Напряжение питания, В	380В (+10-15) %
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па	не более 3·10-4 Па
Рабочие газы	аргон, кислород
Время достижения предельного вакуума, мин.	не более 2 часов
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Расход охлаждающей жидкости, л.	не более 15 л
Масса, кг	не более 600 кг
Количество каналов газонапуска, шт	2