Откачка сухая, безмаслянная. Средства откачки - турбомолекулярный и форвакуумный насос. Форвакуумный насос размещается за габаритами установки.

Вакуумная камера горизонтальная, водоохлаждаемая, оснащена смотровым окном.

Установка специального назначения, удачный компромисс между 2012 и 2013 сериями: конструкция вакуумного поста - 2012 с горизонтальной камерой, а крепление фланца - аналогично серии 2013.

Технологические устройства:

- источник ионов ИИ-250;

- стол водоохлаждаемый;

- свидетель сопротивления.

В установку встроена автоматическая система автоматического водоснабжения (СОВА).

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 7 А
Мощность, КВт 4,4 КВт
Напряжение питания, В 380В (+10-15) %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
Количество каналов газонапуска, шт 2
Масса, кг не более 600 кг
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон, кислород
Расход охлаждающей жидкости, л. не более 15 л

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка ионного распыления НИКА-153

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.153
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная


Теги: НИКА 153, 153