Яндек.еика

Откачка сухая, безмаслянная. Средства откачки - турбомолекулярный и форвакуумный насос. Форвакуумный насос размещается за габаритами установки.

Вакуумная камера горизонтальная, водоохлаждаемая, оснащена смотровым окном.

Установка специального назначения, удачный компромисс между 2012 и 2013 сериями: конструкция вакуумного поста - 2012 с горизонтальной камерой, а крепление фланца - аналогично серии 2013.

Технологические устройства:

- источник ионов ИИ-250;

- стол водоохлаждаемый;

- свидетель сопротивления.

В установку встроена автоматическая система автоматического водоснабжения (СОВА).

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Электрические параметры
Мощность 4,4 КВт
Напряжение питания 380В (+10-15) %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума не более 2 часов
Количество каналов газонапуска 2
Максимальное потребление тока по фазам 7 А
Масса не более 600 кг
Объем охлаждающей жидкости не более не более 15 л
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Предельный вакуум не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон, кислород

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка ионного распыления НИКА-153

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.153
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная