Яндек.еика

Откачка сухая, безмасляная.

Средства откачки - криогенный насос и форвакуумный насос.

Компрессорная станция крионасоса и форвакуумный насос размещаются за габаритами установки.

Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами(3 шт), рабочий фланец -нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.

Технологические устройства установки НИКА-145:

- нагреватель;

- РПГ-128 - радиочастотный плазменный генератор;

- 2 магнетрона (круглые);

- термический испаритель (2);

- карусель с вращением носителей для двухсторонней обработки деталей;

- датчик температуры;

- кварцевый измеритель толщины;

Управление программное, режимы работы: обеспечивающее проведение:

- наладочный;

- ручной;

- автоматический режим;

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Электрические параметры
Мощность 15 КВт
Напряжение питания 380В (+10-15) %
Подключение к сети TN-S
Максимальная потребляемая мощность 8 кВт
Общие характеристики
Время достижения рабочего вакуума не более 120 мин
Количество каналов газонапуска 2
Максимальное потребление тока по фазам 32 А
Масса не более 600 кг
Объем охлаждающей жидкости не более не более 15 л
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Предельный вакуум не более 3·10-4
Рабочие газы аргон, кислород
Вакуумный пост
Средства откачки ВВН криогенный насос НВК 160-0,8 ФВН форвакуумный насос НВСп-35

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка вакуумного напыления НИКА-145

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.145
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная