Откачка сухая, безмасляная.

Средства откачки - криогенный насос и форвакуумный насос.

Компрессорная станция крионасоса и форвакуумный насос размещаются за габаритами установки.

Вакуумная камера водоохлаждаемая, оснащена смотровыми окнами(3 шт), рабочий фланец -нижний. В нижнем положении - загрузка изделий, в верхнем положении выполняется рабочий цикл.

Технологические устройства установки НИКА-145:

- нагреватель;

- РПГ-128 - радиочастотный плазменный генератор;

- 2 магнетрона (круглые);

- термический испаритель (2);

- карусель с вращением носителей для двухсторонней обработки деталей;

- датчик температуры;

- кварцевый измеритель толщины;

Управление программное, режимы работы: обеспечивающее проведение:

- наладочный;

- ручной;

- автоматический режим;

Блоки питания технологических устройств размещаются в стойке.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А	32 А
Мощность, КВт	15 КВт
Напряжение питания, В	380В (+10-15) %
Подключение к сети	TN-S
Максимальная потребляемая мощность, Вт	8 kVt/8 кВт
Общие характеристики
Предельный вакуум, Па	не более 3·10-4
Рабочие газы	аргон, кислород
Время достижения рабочего вакуума, мин.	не более 120 мин
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Расход охлаждающей жидкости, л.	не более 15 л
Масса, кг	не более 600 кг
Количество каналов газонапуска, шт	2
Вакуумный пост
Средства откачки	ВВН криогенный насос НВК 160-0,8 ФВН форвакуумный насос НВСп-35