Установка вакуумного одностороннего напыления резистивных слоев «Ника-158-03» предназначена для напыления покрытий на поликоровые, ситалловые, керамические и стеклянные подложки размерами 60х48 мм и 30х24 мм, толщиной 1 мм и 0,5 мм.
Основная область применения установки - электроника и ГИС .

Установка может оснащаться различными технологическими устройствами в зависимости от требований технологии.

Установка оснащена:

• нагревателем;
• источником ионов ИИ-250;
• тремя магнетронами-270;
• каруселью с носителями, свидетелем сопротивления (СС) и датчиком температуры (ДТ);
• заслонкой технологических устройств;
• тремя смотровыми окнами с ручными заслонками.

Установка может комплектоваться различными видами носителей, мишеней и подложек в зависимости от технического задания.

Установка имеет автоматическое программное управление, обеспечивающее проведение технологического процесса в следующих режимах:

а) наладочный режим - управление механизмами и устройствами для выполнения наладочных,ремонтно-профилактических работ

б) ручной режим - управление элементами установки с соблюдением всех блокировок, исключающих возникновение внештатных ситуаций

в) автоматический режим - реализация автоматического цикла технологической программы (технологического рецепта).