Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускорители с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Источник линейного вида с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 210 мм.

Ионные источники применяются для:

  • распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
  • ассистирования при магнетронном напылении;
  • ионной очистки, травления;
  • полировка;
  • плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
  • модификация поверхности. 



Ионный источник
Длина пучка 200 мм
Форма пучка Полый прямоугольный
Ширина пучка 42 мм
Толщина пучка 5 мм
Энергия ионов 500..2500 эВ
Максимальный ток пучка 300 мА
Газовая эффективность 9 мА/sccm
Максимальная линейная плотность тока 25 мА/см
Максимальный угол расхождения пучка

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Источник ионов L250

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.244
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная


Доступные опции


Рекомендуемые товары

Магнетрон L360

Магнетрон L360

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранени..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.