Универсальная установка одно- или двухстороннего напыления проводящих и резистивных слоев серии НИКА-2013.

Камера стандартного размера (Ø700 х 500 мм).

Конструкция при смене барабана позволяет на одной установке выполнять напыление подложек ( 60 х 48 мм) с одной или двух сторон.

Загрузка может устанавливается на 2 типа носителей:

  • для одностороннего напыления 17 носителей по 6 шт., суммарная загрузка 102 подложек;
  • для двухстороннего напыления 26 носителей по 3 шт., суммарная загрузка 78 подложек.

Для напыления "толстой" меди использована оригинальная конструкция жидкофазного магнетрона, которая позволяет проводить процессы с частичной (половинной) загрузкой.

Конструкция и системы управления установки позволяют осуществлять контролируемый нагрев изделий до 450 град С и напыление с контролем сопротивления по свидетелю в автоматическом режиме.

Комплект технологических устройств:

  • Магнетрон М-250 - 2 шт.;
  • Магнетрон 2хД100К - 1 шт.;
  • Источник ионов ИИ-250 - 1 шт.;
  • Нагреватель подложек - 2 шт.;
  • Управляемая заслонка - 1 шт.

Все процессы автоматизированы. Все действия оператора, текущие параметры процессов сохраняются в журнале. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.

Надежная система блокировок предусмотрена.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам, А 32 А
Мощность, КВт 47 КВт
Напряжение питания, В 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума, мин. не более 2 часов
Количество каналов газонапуска, шт 4
Масса, кг не более 900 кг
Охлаждающая жидкость Дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде
Предельный вакуум, Па не более 3·10-4 Па
Рабочие газы аргон, азот, кислород, воздух
Рабочий вакуум, Па 5·10-3 Па
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм (длина х ширина х высота) Мм 1618х1415х2053

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Установка одно-двухстороннего напыления НИКА-136

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.136
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная