Универсальная установка одностороннего или двустороннего напыления проводящих и резистивных слоев серии НИКА-2013.

Камера стандартного размера (Ø700 х 500 мм).

Конструкция при смене барабана позволяет на одной установке выполнять напыление подложек ( 60 х 48 мм) с одной или двух сторон.

Загрузка может устанавливается на 2 типа носителей:

• для одностороннего напыления 17 носителей по 6 шт., суммарная загрузка 102 подложек;
• для двухстороннего напыления 26 носителей по 3 шт., суммарная загрузка 78 подложек.

Для напыления "толстой" меди использована оригинальная конструкция жидкофазного магнетрона, которая позволяет проводить процессы с частичной (половинной) загрузкой.

Конструкция и системы управления установки позволяют осуществлять контролируемый нагрев изделий до 450 град С и напыление с контролем сопротивления по свидетелю в автоматическом режиме.

Комплект технологических устройств:

• Магнетрон М-250 - 2 шт.;
• Магнетрон 2хД100К - 1 шт.;
• Источник ионов ИИ-250 - 1 шт.;
• Нагреватель подложек - 2 шт.;
• Управляемая заслонка - 1 шт.

Все процессы автоматизированы. Все действия оператора, текущие параметры процессов сохраняются в журнале. Дистанционный контроль через интернет предусмотрен.

Надежная система блокировок предусмотрена.