Установка вакуумного напыления НИКА 150 предназначена для двухстороннего вакуумного напыления в одном технологическом цикле 26 керамических подложек типа ВК-100-1 или Ст50-1-1-0,6 размером (60х48 мм) и
толщиной - (0,25; 0,5; 0,6; 1 мм) следующих материалов:
- хром (30-200 Ом/кв);
- медь до 15 мкм.

Установка выполнена на базе вакуумного поста серии НИКА-2013.
Цикл предварительной очистки напыления 4-х материалов (с контролем толщины по свидетелю и температуре) выполняются автоматически.

Установка оснащена:

• системой автоматического программного управления - управление, контроль процессами с сенсорной панели компьютера;
  
• нагревателем для обезгаживания камеры и нагрева подложек перед напылением пленок;
  
• источником ионов (ИИ) для предварительной ионной очистки подложек в плазме аргона или кислорода;
  
• резистивным (термическим) испарителем (ТИ) (длина лодочки 70 мм) для напыления хрома;
  
• электронно-лучевым испарителем с кольцевым катодом (ЭЛИ) для напыления меди;
  
• барабаном с переворотом носителей с подложками для обработки с двух сторон, с свидетелем сопротивления (СС) и датчиком температуры (ДТ) с размерами (24х4 мм);
  
• заслонкой для отпыливания ТИ и ЭЛИ;
  
• вакуумным вводом вращения барабана и заслонки;
  
• двумя смотровыми окнами;
  
• системой оборотного автоматического водоснабжения (СОВА)
  
• средствами откачки: турбомолекулярным насосом и форвакуумным насосом - НВСп