Компактная многофункциональная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-2012-ВП с выкатным фланецем и камерой, оснащенной двумя откидными дверями.

В разработанной и серийно изготавливаемой установке в одном технологическом цикле реализованы:

• двухстороннее напыления тонких слоев металлов (медь, тантал, хром, никель, сплав РС3710 - до 15 мкм);
• контроль толщины по свидетелю сопротивления;
• предварительная ионная очистка поверхностей подложек в плазме аргона или кислорода;
• контролируемый нагрев во время процесса.

Перечень устройств установки Ника-12-500-146:

• два ионных источника;
• шесть магнетронов;
• заслонки (на вводе вращения);
• нагреватель.

Загрузка барабанного типа, носители съемные (типоразмеры пластин: 60 х 48 и 30 х 24, толщиной 0,5...1,0 мм).

Суммарная загрузка - 63 пластины.

Управление автоматическое программное, контроль процессов по свидетелю, по температуре.

Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.

Дистанционный доступ к рабочим программам предусмотрен.