Компактная многофункциональная установка выполнена на базе вакуумного поста НИКА-2012-ВП с выкатным фланецем и камерой, оснащенной двумя откидными дверями.

В разработанной и серийно изготавливаемой установке в одном технологическом цикле реализованы:

  • двухстороннее напыления тонких слоев металлов (медь, тантал, хром, никель, сплав РС3710 - до 15 мкм);
  • контроль толщины по свидетелю сопротивления;
  • предварительная ионная очистка поверхностей подложек в плазме аргона или кислорода;
  • контролируемый нагрев во время процесса.

Перечень устройств установки Ника-12-500-146:

  • два ионных источника;
  • шесть магнетронов;
  • заслонки (на вводе вращения);
  • нагреватель.

Загрузка барабанного типа, носители съемные (типоразмеры пластин: 60 х 48 и 30 х 24, толщиной 0,5...1,0 мм).

Суммарная загрузка - 63 пластины.

Управление автоматическое программное, контроль процессов по свидетелю, по температуре.

Надежная система блокировок исключает аварийные ситуации, обеспечивает сохранность оборудования и данных процессов.

Дистанционный доступ к рабочим программам предусмотрен.

Электрические параметры
Максимальное потребление тока по фазам 32 А
Мощность 24 КВт
Напряжение питания 380В +10-15 %
Общие характеристики
Время достижения предельного вакуума не более 2 часов
Время достижения рабочего вакуума не более 40 мин
Количество каналов газонапуска 2
Масса не более 850 кг
Предельный вакуум не более 3·10-4 Па
Рабочий вакуум 3·10-3 Па
Расход охлаждающей жидкости 15 литров
Вакуумный пост
Средства откачки ВВН (Турбомолекулярный насос KYKY FF-200/1300E (ТМН) ФВН (Форвакуумный спиральный насос Edwards XDS35i (ФН)

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Компактная многофункциональная установка НИКА-146

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.146
  • Доступность: На складе
  • Цена договорная