Ника-2012

Серия «Ника-2012»: современный аналог колпаковых машин серии УВН-71. Камера из нержавеющей стали Ø400х350 либо Ø500х400 мм с рубашкой охлаждения. Интегральное бесстоечное исполнение. Безмасляная откачка (турбомолекулярный или криогенный насос). Площадь с зоной обслуживания – 3 м², в плане — 2 м².

Подвижный нижний фланец: 4 позиции ISO63 для устройств на выбор: магнетроны, ионный источник, генератор плазмы, термические испарители. Плоская карусель для односторонней обработки (6 круглых подложек Ø100 мм, либо 12 – прямоугольных 60х48 мм), либо система с переворотом подложек — для двусторонней. Быстрая замена карусели под различные подложки. Заслонка с автоматическим приводом.

Верхний фланец: предусмотрена возможность установки нагревателя и кварцевого измерителя толщины покрытий. 5 отверстий ISO63.

3 смотровых окна, оборудованных заслонками. Вместо любого окна может устанавливаться фланец ISO160 с дополнительным оборудованием.

Электропитание: 380В, 50 Гц, 8..15 кВт. 

Габариты: 850..1415 х 900..1100 х 1750..1900. 

Масса: 300..600 кг.

В серии «Ника-2012» для решения типовых задач разработаны следующие базовые конфигурации: напылительные установки ИН (ионное напыление), РС (напыление резистивных слоев), ПС (напыление проводящих слоев), ТН (термическое напыление),  и плазмохимические МО/МТ (магнетронное осаждение/травление).

Все установки полностью автоматизированы, функционируют под управлением компьютерной программы, обеспечивающей автоматизацию работы вакуумной системы и технологического процесса. Предусмотрен ручной режим работы для отладки технологии и диагностики системы, а также полностью автоматическое проведение технологических процессов по рецептам.