Назначение:

сложные многокомпонентные и/или многослойные покрытия методом магнетронного 

или вакуумнодугового напыления. Для нанесения на инструмент, твердосплавные пластины. В комплектации магнетронами установка позволяет наносить металлизированные слои на керамические, кремниевые, сапфировые, кварцевые подложки и оптику, которые используются для производства микросборок. Вертикальная геометрия при размещении подложек в камере дает минимальную дефектность при нанесении многокомпонентных слоев. 

Базовая комплектация установки: 

• Карусель для размещения обрабатываемых 
• изделий с загрузочной тележкой;
• Источник ионов для предварительной 
• очистки и активации;
• Нагреватели;
• Четыре устройства напыления: магнетроны или дуговые испарители на откидных фланцах для удобства обслуживания.

Функциональные покрытия: 

• никелирование ( Ni );
• Упрочняющие покрытия триботехнического назначения для инструмента и твердосплавных фрез:
  нитрид титана алюминия; ( AlTiN ) хромонитрид алюминия ( AlCrN ), легирующее покрытие ( AlSiTiN , AlSiCrN );
• Многофазные покрытия: nc-TiN/nc-AlN, nc-TiAlN/a-Si3N4, nc-CrAlN/a-Si3N4, nc-TiN/a-CrB2, nc-Cr2O3/ns-Al2O3, ns-TiO2/nc-Al2O3;
• Жаропрочные и жаростойкие покрытия:СДП 1, 2, 3, ВСДП 11, 20).
• Ионно-плазменное низкотемпературное азотирование поверхностей -твердость поверхностная по AISI 316 L - не менее 1200 Hv.
• Заготовки - лопатки, цапфы, червячные фрезы, литейные формы.