Источник ионов с полым прямоугольным пучком 650x42x5 мм и током до 2000 мА. Применяется для обработки протяжённых подложек.

Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Линейный ионный источник с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка, длина зоны равномерности 650 мм.

Ионные источники применяются для:

распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
ассистирования при магнетронном напылении;
ионной очистки, травления;
полировка;
плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
модификация поверхности.

Электрические параметры
Предельно допустимое напряжение, В	5500
Напряжение питания, В	500–5000
Общие характеристики
Диапазон рабочих давлений в камере, Па	0,001–1
Рабочие газы	любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72
Минимальный расход охлаждающей жидкости, л/мин	1
Масса, кг	11,5
Ионный источник
Длина пучка, мм	650
Форма пучка	Полый прямоугольный
Ширина пучка, мм	42
Толщина пучка, мм	5
Энергия ионов, эВ	250–2500
Максимальный ток пучка, мА	2000
Газовая эффективность, мА/sccm	9
Максимальная линейная плотность тока, мА/см	25
Максимальный угол расхождения пучка, °	2°