В корзине пусто!
Установки ионного и плазмохимического травления и осаждения. Ионное травление: НИКА-130 и НИКА-155 на базе источников ионов, для очистки подложек, структурирования поверхности и полировки. Плазмохимические процессы (ПХО/ПХТ): НИКА-134 и НИКА-2014 в среде высокоплотной плазмы индуктивных источников.
Плазмохимическое травление в вакууме
Цена договорная
Обработка изделий сложной формы ионном пучком - технология ионного травления
Глубокое анизотропное плазмохимическое травление полупроводников и диэлектриков
Обработка изделий сложной формы, ионная очистка и травление ионном пучком средних энергий (500..2000 эВ)
Травление кремниевых пластин высокочастотным магнетроном
