Источник ионов с полым прямоугольным пучком 574x42x5 мм и током до 1500 мА. Максимальный расход рабочего газа — до 5 л/ч.

Устройство предназначено для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 300-2500 эВ для широкого спектра применений: ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации, поверхности, ассистирования при напылении.

Электрические параметры
Предельно допустимое напряжение, В	5500
Напряжение питания, В	500–5000
Общие характеристики
Диапазон рабочих давлений в камере, Па	0,001–10
Рабочие газы	любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72
Минимальный расход охлаждающей жидкости, л/мин	1
Масса, кг	11
Ионный источник
Длина пучка, мм	574
Форма пучка	Полый прямоугольный
Ширина пучка, мм	42
Толщина пучка, мм	5
Энергия ионов, эВ	250–2500
Максимальный ток пучка, мА	1500
Газовая эффективность, мА/sccm	9
Максимальная линейная плотность тока, мА/см	25
Максимальный угол расхождения пучка, °	2°