Источник ионов с полым прямоугольным пучком 200x42x5 мм и током до 300 мА. Обеспечивает высокую однородность плотности ионного тока по ширине пучка.

Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускорители с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Источник линейного вида с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 210 мм.

Ионные источники применяются для:

• распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
• ассистирования при магнетронном напылении;
• ионной очистки, травления;
• полировка;
• плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
• модификация поверхности.