Источник ионов с полым прямоугольным пучком 254x42x5 мм и током до 250 мА.

;p>Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускорители с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Источник линейного вида с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка.

Ионные источники применяются для:

распыления материалов из диэлектрических и проводящих мишеней;
ассистирования при магнетронном напылении;
ионной очистки, травления;
полировка;
плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD);
модификация поверхности.

Электрические параметры
Предельно допустимое напряжение, В	5500
Напряжение питания, В	500–5000
Общие характеристики
Рабочие газы	любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72
Масса, кг	4,6
Ионный источник
Диапазон рабочих давлений в камере, Па	0,001–10
Длина пучка, мм	254
Форма пучка	Полый прямоугольный
Ширина пучка, мм	42
Толщина пучка, мм	5
Энергия ионов, эВ	250–2500
Максимальный ток пучка, мА	250
Газовая эффективность, мА/sccm	9
Максимальная линейная плотность тока, мА/см	25
Максимальный угол расхождения пучка, °	2°