• В корзине пусто!

Источник ионов с полым прямоугольным пучком 474x42x5 мм и током до 1250 мА.

;p>Принцип работы устройства заключается в ионизации атомов рабочего газа в разряде постоянного тока в скрещенных магнитном и электрическом полях. Разряд образуется при подаче рабочего газа и напряжения питания в область, ограниченную двумя магнитными полюсами катода и анодом.

Максимальная скорость распыления материала мишени достигается при угле падения ионов около 30° к её поверхности (точное значение зависит от рода рабочего газа, материала мишени и рабочего напряжения).

Электрические параметры
Предельно допустимое напряжение, В 5500
Напряжение питания, В 500–5000
Общие характеристики
Рабочие газы любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства
Охлаждающая жидкость дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72
Масса, кг 13
Ионный источник
Диапазон рабочих давлений в камере, Па 0,001–10
Длина пучка, мм 474
Форма пучка Полый прямоугольный
Ширина пучка, мм 42
Толщина пучка, мм 5
Энергия ионов, эВ 250–2500
Максимальный ток пучка, мА 1250
Газовая эффективность, мА/sccm 9
Максимальная линейная плотность тока, мА/см 25
Максимальный угол расхождения пучка, ° 2°

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Источник ионов L500 ENG
Источник ионов L500 RUS

Источник ионов ИИ-500

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.264
  • Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ

  • Цена договорная

Доступные опции


0 отзывов / Написать отзыв

Рекомендуемые товары

НИКА-170 Установка нанесения PVD покрытий

НИКА-170 Установка нанесения PVD покрытий

Установка вакуумного нанесения PVD покрытий НИКА-170 предназначена для нанесения многослойных PVD по..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.

Теги: Источник ионов L500, источник ионов, 500, Технологические устройства, устройства, ЛЦМК 264, L500, ИИ-500, ИИ 500