Электродуговой насос (ЭДН) - высокопроизводительный агрегат для откачки газов и создания высокого вакуума в промышленных технологических установках вакуумной металлизации, электронно-лучевой сварки, вакуумных печах.
Назначение
получение «сухого» вакуума в технологических установках
высокопроизводительная откачка любых химически активных газов
Принцип действия
откачиваемые газы поглощаются слоем геттера из титана, напылённого на охлаждаемые стенки камеры насоса
титан испаряется вакуумной дугой с катода, расположенного в центре камеры
инициация и гашение дуги производится под управлением контроллера, поддерживающего заданную скорость испарения
скорость испарения может регулироваться по обратной связи от вакуумметра, автоматически поддерживая производительность откачки без лишнего расхода катода
вспомогательный диффузионный или турбомолекулярный насос обеспечивает стартовый вакуум и откачку инертной составляющей остаточных газов
Преимущества
стабильная высокая скорость откачки в широком диапазоне давлений
не требует высокопроизводительной форвакуумной откачки
возможность изготовления насосов любой производительности
можно откачивать агрессивные газы, например хлориды
не боится конденсации жидких или твёрдых осадков, можно использовать для откачки паров органических веществ
никак не повреждается прорывом атмосферы или воды
не требует времени на запуск и остановку
Особенности эксплуатации
периодическое обслуживание — очистка камеры насоса — занимает не более 30 минут
ресурс катода в зависимости от режима эксплуатации составляет от одного до трёх лет
автоматический мониторинг состояния катода и необходимости очистки стенок
Рекомендации к применению
откачка вакуумных камер большого объёма
технологические процессы, связанные с сильным газовыделением
откачка агрессивных газов, таких как хлориды
| Электрические параметры | |
| Потребляемая мощность, Вт | 15 000 |
| Общие характеристики | |
| Габаритные размеры (ДхШхВ), мм, не более | 1219 х 816 х 1960 |
| Масса, кг | 650 |
| Электронная пушка | |
| Скорость откачки | 20 000 (по азоту) |
| Дуговой испаритель | |
| Присоединительный фланец | ISO400 |
Нет отзывов об этом товаре.