Источник ионов с полым прямоугольным пучком 650x42x5 мм и током до 2000 мА. Применяется для обработки протяжённых подложек.
Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки по принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели. Линейный ионный источник с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка, длина зоны равномерности 650 мм.
Ионные источники применяются для:
| Электрические параметры | |
| Предельно допустимое напряжение, В | 5500 |
| Напряжение питания, В | 500–5000 |
| Общие характеристики | |
| Диапазон рабочих давлений в камере, Па | 0,001–1 |
| Рабочие газы | любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72 |
| Минимальный расход охлаждающей жидкости, л/мин | 1 |
| Масса, кг | 11,5 |
| Ионный источник | |
| Длина пучка, мм | 650 |
| Форма пучка | Полый прямоугольный |
| Ширина пучка, мм | 42 |
| Толщина пучка, мм | 5 |
| Энергия ионов, эВ | 250–2500 |
| Максимальный ток пучка, мА | 2000 |
| Газовая эффективность, мА/sccm | 9 |
| Максимальная линейная плотность тока, мА/см | 25 |
| Максимальный угол расхождения пучка, ° | 2° |
Нет отзывов об этом товаре.