• Главная

  • Вакуумные камеры

  • Электронно-лучевое оборудование

  • Услуги

  • Установки

  • Устройства

  • Блоки питания

  • Вакуумметры

  • Медиа

  • Контакты

  • Испаритель с кольцевым катодом


    Производитель: Beams&Plasmas
    Код товара: ЛЦМК.261
    Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
    0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
    В корзину

    Принцип работы

    В основе работы лежит нагрев материала электронным потоком, который испускается раскаленным катодом, имеющим форму кольца, охватывающим цилиндрический тугоплавкий тигель.

    1. Нагрев катода: По проволочному катоду в форме кольца пропускается ток, вызывая термоэлектронную эмиссию.
    2. Формирование потока электронов: Между катодом и тиглем (анодом) создается разность электрических потенциалов в 1000...3000 В. Электроны ускоряются и за счет конфигурации поля фокусируются тигле.
    3. Испарение: Электронный поток передает свою кинетическую энергию стенкам тигля, нагревая его до температур, при которых начинается интенсивное испарение материала, помещённого в него.

    Основные характеристики и применение

    • Испаряемые материалы: Устройство эффективно для нанесения пленок из нетугоплавких металлов, таких как медь, серебро, золото, алюминий и другие.
    • Конструкция: Цилиндрический тигель объёмом 17 см3 из тугоплавкого материала (молибден, TiB2), возможность дополнительного коллимирования потока.
    • Блок питания: требуется специализированный высоковольтный источник питания (например, БП-353), обеспечивающий подачу ускоряющего напряжения, накала катода и стабилизацию мощности нагрева.
    • Преимущества: Высокая скорость испарения, направленность потока, больший запас материала, чем в лодочке.
    • Недостатки: Невозможность испарения сплавов из-за фракционирования, точечный источник, который необходимо располагать вдали от подложек для обеспечения равномерноси, что снижает максимальную толщину плёнки, низкое качество плёнок, по сравнению с магнетронным напылением.
    • Область применения: напыление золота, нанесение металлизации под lift off.

    Испарители такого типа применялись в широко распространённых установках вакуумного напыления серий «УВН-73», «УВН-74», «УВН-75». Сейчас ими могут комплектоваться установки серии Ника-138 и Ника-154.

    Общие характеристики
    Охлаждающая жидкость Дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72 *Применение других видов охлаждающих жидкостей допускается при согласовании с изготовителем.
    Масса, кг 5,2 кг
    Электронная пушка
    Размер тигля Д32х35 мм, 17 см³
    Максимальный ток пучка 1,0 А
    Диапазон анодных напряжений 1,5..3,0 кВ
    Тип Электронный испаритель с кольцевым катодом
    Материал катода Вольфрам
    Номинальная мощность 2,0 кВт
    Максимальная мощность 3,0 кВт

    Нет отзывов об этом товаре.