Высокоэффективный генератор плазмы на основе высокочастотного индукционного разряда.

Назначение: создание плазмы высокой плотности в технологическом объёме.

Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения процессов ионно-плазменной обработки, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.

Основной элемент генератора - плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вводом.

Рабочая поверхность защищена сапфиром и съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.

РПГ-128 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов:

  • напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
  • ионное и плазмохимическое травление;
  • испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
  • плазмостимулированное осаждение из газовой фазы;
  • ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
  • ионные очистка и ассистирование;
  • высокотемпературный отжиг.
Генератор плазмы
Диаметр рабочей зоны 100 мм
Максимальная мощность 5000 Вт
Диапазон давлений 0,1..10 Па
Диаметр по корпусу 128 мм
Диаметр ввода 60 мм
Рабочая частота 13,56 МГц

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Генератор плазмы РПГ-128

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.219
  • Доступность: Предзаказ
  • Цена договорная


Доступные опции


Рекомендуемые товары

СУРА-3000-50-13 Согласующее устройство

СУРА-3000-50-13 Согласующее устройство

Автоматическое устройство согласования СУРА предназначено для обеспечения согласования нагрузки, обл..

495 600.00 р. Без НДС: 413 000.00 р.

Генератор высокочастотный Gx-13.1

Генератор высокочастотный Gx-13.1

Генератор предназначен для использования в качестве источников ВЧ энергии для технологических устано..

462 000.00 р. Без НДС: 385 000.00 р.