Высокоэффективный генератор плазмы на основе высокочастотного индукционного разряда (трансформаторно связанная плазма TCP).
Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения процессов ионно-плазменной обработки, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.
РПГ-250 позволяет обеспечить высокую однородность обработки, до 2% на диаметре 200 мм (в реакторе специальной конструкции).
Основной элемент генератора - плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вводом.
Рабочая поверхность защищена сапфиром и съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.
РПГ-128 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов:
- напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
- ионное и плазмохимическое травление;
- испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
- плазмостимулированное осаждение из газовой фазы;
- ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
- ионные очистка и ассистирование;
- высокотемпературный отжиг.
Генератор плазмы | |
Диаметр рабочей зоны, мм | 200 мм |
Максимальная мощность, Вт | 5000 Вт |
Диапазон давлений, Па | 0,1..10 Па |
Диаметр по корпусу, мм | 245 мм |
Диаметр ввода, мм | 60 мм |
Рабочая частота, МГц | 13,56 МГц |
Генератор плазмы РПГ-250
- Производитель: Beams&Plasmas
- Код товара: ЛЦМК.205
- Доступность: ㅤㅤ ㅤㅤ
-
Цена договорная
Рекомендуемые товары
Согласующее устройство СУРА
Автоматическое устройство согласования СУРА предназначено для обеспечения согласования нагрузки, обл..
0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
Генератор высокочастотный Gx-13.1
Генератор предназначен для использования в качестве источников ВЧ энергии для технологических устано..
0.00 р. Без НДС: 0.00 р.
Генератор высокочастотный GL-13.3
Генератор предназначен для использования в качестве источников ВЧ энергии для технологических устано..
0.00 р. Без НДС: 0.00 р.