• Генератор плазмы РПГ-250

Высокоэффективный генератор плазмы на основе высокочастотного индукционного разряда (трансформаторно связанная плазма TCP).

Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения процессов ионно-плазменной обработки, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.

РПГ-250 позволяет обеспечить высокую однородность обработки, до 2% на диаметре 200 мм (в реакторе специальной конструкции).

Основной элемент генератора - плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вводом.

Рабочая поверхность защищена сапфиром и съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.

РПГ-128 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов:

  • напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
  • ионное и плазмохимическое травление;
  • испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
  • плазмостимулированное осаждение из газовой фазы;
  • ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
  • ионные очистка и ассистирование;
  • высокотемпературный отжиг.
Генератор плазмы
Диаметр рабочей зоны 200 мм
Максимальная мощность 5000 Вт
Диапазон давлений 0,1..10 Па
Диаметр по корпусу 245 мм
Диаметр ввода 60 мм
Рабочая частота 13,56 МГц

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Генератор плазмы РПГ-250

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.205
  • Доступность: Предзаказ

Рекомендуемые товары

Согласующее устройство СУРА

Согласующее устройство СУРА

Автоматическое устройство согласования СУРА предназначено для обеспечения согласования нагрузки, обл..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.

Генератор высокочастотный Gx-13.1

Генератор высокочастотный Gx-13.1

Генератор предназначен для использования в качестве источников ВЧ энергии для технологических устано..

0.00 р. Без НДС: 0.00 р.