Высокоэффективный генератор плазмы на основе высокочастотного индукционного разряда (трансформаторно связанная плазма TCP).

Генератор плазмы - универсальное технологическое устройство для широкого применения процессов ионно-плазменной обработки, отвечает всем требованиям, предъявляемым в промышленном производстве.

РПГ-250 позволяет обеспечить высокую однородность обработки, до 2% на диаметре 200 мм (в реакторе специальной конструкции).

Основной элемент генератора - плоская катушка, через которую пропускается ток промышленной частоты (13,56 МГц). Генераторы выполнены в алюминиевом корпусе, снабжёны коаксиальным вводом.

Рабочая поверхность защищена сапфиром и съёмным защитным экраном из кварцевого стекла, что позволяет легко производить его очистку.

РПГ-128 - безэлектродный генератор низкотемпературной плазмы высокой плотности, предназначенный для установки внутри технологического объёма вакуумной камеры. Устройство может быть использовано для широкого ряда технологических процессов:

• напыление различных материалов в плазме инертных или химически активных газов;
• ионное и плазмохимическое травление;
• испарение, в том числе с дополнительной ионизацией паров;
• плазмостимулированное осаждение из газовой фазы;
• ионная модификация поверхности (окисление, восстановление, азотирование, карбидизация и т.п.);
• ионные очистка и ассистирование;
• высокотемпературный отжиг.