В корзине пусто!
Мы предлагаем широкий выбор установок вакуумного напыления для различных отраслей промышленности, а также для проведения научно-исследовательских работ. Установки напыления серии Ника позволяют производить осаждение различных покрытий, ионно-плазменную, ионно-лучевую и термическую обработку в вакууме различных изделий и материалов.
Вакуумные установки для нанесения декоративных покрытий:
Установки напыления функциональных покрытий:
Установки ионно-плазменной модификации поверхности: азотирования и карбонитрирования, ионной полировки.
В зависимости от желания заказчика и требований к покрытию для вакуумного напыления может использоваться одна или несколько из следующих технологий:
Малогабаритный универсальный вакуумный пост с вертикальной камерой для малосерийного производства и экспериментальных работ
Цена договорная
Вакуумный пост с горизонтальной камерой уменьшенного размера
Унифицированный компактный вакуумный пост с горизонтальной камерой (Ø700 x 550) для серийного производства
Глубокое анизотропное плазмохимическое травление полупроводников и диэлектриков
Установка напыления проводящих слоёв НИКА-123
Плазмохимическое травление в вакууме
Обработка изделий сложной формы, ионная очистка и травление ионном пучком средних энергий (500..2000 эВ)
Для многослойного нанесения проводящих слоев (металлизации) на кремниевые подложки ∅100 мм в одном цикле с предварительной ионной очисткой.
Травление кремниевых пластин высокочастотным магнетроном
Четыре слоя (проводящие, резистивные) в одном цикле.
Установка специального применения со сменными барабанами
Напыление тонких металлов (до 3 мкм) с контролем толщины, предварительной очисткой и нагревом
Напыление трёх материалов с контролем по свидетелю и предварительной ионной очисткой
Напыление магнетроном и испарителями резистивных и проводящих слоёв до 3 мкм, контроль толщины, подача порошка из вибробункера.
Многослойное напыление с 3-х мишеней с предварительной очисткой в одном цикле