Источник ионов с полым прямоугольным пучком 120x42x5 мм и током до 300 мА. Предназначен для ионной очистки, травления и ассистирования при напылении протяжённых подложек.
Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка.
Газоразрядные ионные источники, генерирующие протяжённые пучки, по принципу действия - ускорители с анодным слоем (УАС). Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели.
Ионные источники применяются для:
| Электрические параметры | |
| Предельно допустимое напряжение, В | 5500 |
| Напряжение питания, В | 500–5000 |
| Общие характеристики | |
| Диапазон рабочих давлений в камере, Па | 0,001–10 |
| Рабочие газы | любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72 |
| Минимальный расход охлаждающей жидкости, л/мин | 1 |
| Масса, кг | 3 |
| Ионный источник | |
| Длина пучка, мм | 120 |
| Форма пучка | Полый прямоугольный |
| Ширина пучка, мм | 42 |
| Толщина пучка, мм | 5 |
| Энергия ионов, эВ | 250–2500 |
| Максимальный ток пучка, мА | 300 |
| Газовая эффективность, мА/sccm | 9 |
| Максимальная линейная плотность тока, мА/см | 25 |
| Максимальный угол расхождения пучка, ° | 2° |
Нет отзывов об этом товаре.