Газоразрядный источник ионов с пучком трубчатой формы диаметром 24 мм. Максимальный ток пучка — 120 мА при высокой плотности тока в пятне обработки.
Газоразрядный ионный источник, генерирующий пучок трубчатой формы. Благодаря тому, что позволяет сконцентрировать до 150 мА ионного тока в пятне диаметром 25 мм, оптимально подходит для ионного распыления мишеней небольшого размера.
По принципу действия источник ионов - ускоритель с анодным слоем (УАС). Большая величина ионного тока, сфокусированного в пятне небольшого диаметра позволяет производить эффективное распыление металлов, диэлектриков и полупроводников. За счёт малого размера области распыления она представляет собой практически точечный источник, что позволяет получить высокую равномерность толщины напыляемого слоя при соответствующей геометрии напылительной системы.
| Электрические параметры | |
| Предельно допустимое напряжение, В | 5500 |
| Напряжение питания, В | 500–5000 |
| Общие характеристики | |
| Диапазон рабочих давлений в камере, Па | 0,001–10 |
| Рабочие газы | любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства |
| Охлаждающая жидкость | дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72 |
| Минимальный расход охлаждающей жидкости, л/мин | 1 |
| Масса, кг | 0,5 |
| Ионный источник | |
| Форма пучка | Полый цилиндрический |
| Диаметр пучка, мм | 24 |
| Ширина пучка, мм | 1 |
| Энергия ионов, эВ | 250–2500 |
| Максимальный ток пучка, мА | 120 |
| Газовая эффективность, мА/sccm | 9 |
| Максимальный угол расхождения пучка, ° | 2° |
Нет отзывов об этом товаре.