Магнетрон для прямоугольных мишеней номинальной длиной 787 мм.
Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.
В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава.
При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.
| Измерение давления | |
| Диапазон рабочих давлений, Па | 0,05..10 Па |
| Магнетрон | |
| Форма мишени | прямоугольная |
| Максимальная толщина мишени | 6 мм |
| Длина мишени | 749 мм |
| Ширина мишени | 100 мм |
| Максимальный ток, А | 15 А |
| Выходные параметры | |
| Мощность, Вт | 20,0 кВт |
| Напряжение | 800 В |
Нет отзывов об этом товаре.