Протяжённые магнетроны

Протяжённые (линейные) магнетронные распылительные системы для нанесения покрытий на крупногабаритные подложки и движущуюся ленту. Длина зоны напыления в линейке от 250 до 787 мм: Магнетрон-250, Магнетрон-270, Магнетрон-300, L440, Магнетрон-479, Магнетрон-500, L600, L787.

Режимы питания: постоянный ток для металлов и сплавов, импульсное среднечастотное питание для реактивного напыления диэлектриков и полупроводников из металлических мишеней.