Распылительная система для круглых мишеней диаметром 95–100 мм.
Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.
В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава. При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.
Минимальный расход ОЖ при рабочей мощности 1 кВт — 1 л/мин.
Охлаждающая жидкость (рекомендуемая): дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72.
Данный магнетрон выпускается в специальных исполнениях.
| Магнетрон | |
| Максимальная мощность, Вт | 3500 Вт |
| Рабочий газ | Ar, O2, N2 и их смеси |
| Диапазон рабочих давлений, Па | 0,07–10 Па |
| Диаметр мишени | 95–100 мм |
| Максимальная толщина мишени | до 10 мм |
| Рабочее напряжение, В | 300–800 В |
Нет отзывов об этом товаре.