Круглые магнетроны

Устройства, предназначенные для распыления круглых мишеней.

Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда, нанесение металлов, сплавов и диэлектриков в реактивном режиме.

Мишенедержатель и магнитная система имеют независимые друг от друга каналы охлаждения. Отвод тепла от магнитов обеспечивается с помощью охлаждаемого шунта, исключающего контакт магнитов с водой, тем самым срок их службы увеличивается.

Варианты исполнения:

обычные,

сверхскоростные,

в герметичном корпусе,

со встроенной заслонкой и приводом,

высокочастотные.