Магнетрон (магнетронная распылительная система) для круглых мишеней диаметром 80 и 100 мм, толщиной 3–5 мм.

Назначение: распыление мишеней из проводящих материалов в вакууме. Максимальная мощность 1000 Вт, рабочее напряжение 300–800 В, диапазон рабочих давлений 0,07–10 Па.

Рабочий газ: аргон по ГОСТ 10157-2016. Минимальный расход ОЖ при рабочей мощности 1 кВт — 1 л/мин. Охлаждающая жидкость (рекомендуемая): дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72.