Распылительная система для круглых мишеней из проводящих материалов диаметром 50 мм.

Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава. При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.

Минимальный расход ОЖ при рабочей мощности 1 кВт — 1 л/мин.

Охлаждающая жидкость (рекомендуемая): дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72.

Для различных применений есть специальные исполнения.