Электродуговой насос (ЭДН) - высокопроизводительный агрегат для откачки газов и создания высокого вакуума в промышленных  технологических установках вакуумной металлизации, электронно-лучевой сварки, вакуумных печах.

Назначение

• получение «сухого» вакуума в технологических установках

• высокопроизводительная откачка любых химически активных газов

Принцип действия

• откачиваемые газы поглощаются слоем геттера из титана, напылённого на охлаждаемые стенки камеры насоса

• титан испаряется вакуумной дугой с катода, расположенного в центре камеры

• инициация и гашение дуги производится под управлением контроллера, поддерживающего заданную скорость испарения

• скорость испарения может регулироваться по обратной связи от вакуумметра, автоматически поддерживая производительность откачки без лишнего расхода катода

• вспомогательный диффузионный или турбомолекулярный насос обеспечивает стартовый вакуум и откачку инертной составляющей остаточных газов

Преимущества

• стабильная высокая скорость откачки в широком диапазоне давлений

• не требует высокопроизводительной форвакуумной откачки

• возможность изготовления насосов любой производительности

• можно откачивать агрессивные газы, например хлориды

• не боится конденсации жидких или твёрдых осадков, можно использовать для откачки паров органических веществ

• никак не повреждается прорывом атмосферы или воды

• не требует времени на запуск и остановку

Особенности эксплуатации

• периодическое обслуживание — очистка камеры насоса — занимает не более 30 минут

• ресурс катода в зависимости от режима эксплуатации составляет от одного до трёх лет

• автоматический мониторинг состояния катода и необходимости очистки стенок

Рекомендации к применению

• откачка вакуумных камер большого объёма

• технологические процессы, связанные с сильным газовыделением

• откачка агрессивных газов, таких как хлориды