Источник ионов с полым прямоугольным пучком 825x42x5 мм и током до 2000 мА. Наибольшая длина пучка в семействе.

Устройство предназначено для генерации линейного потока ионов рабочего газа с энергией 300-2500 эВ для широкого спектра применений:

ионной очистки, ионного травления, ионной полировки, ионной модификации поверхности, ассистирования при напылении.

Электрические параметры
Предельно допустимое напряжение, В	5500
Напряжение питания, В	500–5000
Общие характеристики
Рабочие газы	любой, не вызывающий осаждения высокоомных слоёв на деталях устройства
Охлаждающая жидкость	дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72
Минимальный расход охлаждающей жидкости, л/мин	3
Масса, кг	11,1
Ионный источник
Диапазон рабочих давлений в камере, Па	0,001–1
Длина пучка, мм	825
Форма пучка	Полый прямоугольный
Ширина пучка, мм	42
Толщина пучка, мм	5
Энергия ионов, эВ	250–2500
Максимальный ток пучка, мА	2000
Газовая эффективность, мА/sccm	9
Максимальная линейная плотность тока, мА/см	25
Максимальный угол расхождения пучка, °	2°

Написать отзыв

Ваше имя:

Ваш отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!

Рейтинг Плохо Хорошо

Captcha

Введите код

Источник ионов ИИ-120

Кол-во