Газоразрядный источник ионов с пучком трубчатой формы диаметром 24 мм. Максимальный ток пучка — 120 мА при высокой плотности тока в пятне обработки.

Газоразрядный ионный источник, генерирующий пучок трубчатой формы. Благодаря тому, что позволяет сконцентрировать до 150 мА ионного тока в пятне диаметром 25 мм, оптимально подходит для ионного распыления мишеней небольшого размера.

По принципу действия источник ионов - ускоритель с анодным слоем (УАС). Большая величина ионного тока, сфокусированного в пятне небольшого диаметра позволяет производить эффективное распыление металлов, диэлектриков и полупроводников. За счёт малого размера области распыления она представляет собой практически точечный источник, что позволяет получить высокую равномерность толщины напыляемого слоя при соответствующей геометрии напылительной системы.