Распылительная система для круглых мишеней из проводящих мишеней диаметром 95..100 мм.

Назначение: эффективное распыление мишеней из проводящих материалов ионной бомбардировкой в плазме аномального тлеющего разряда.

В режиме постоянного тока возможно нанесение металлов, сплавов (в том числе резистивных) с сохранением стехиометрического состава. При использовании импульсного среднечастотного питания возможно напыление полупроводников, а также диэлектриков в реактивном режиме из металлических мишеней.

Минимальный расход ОЖ при рабочей мощности 1 кВт 1 л/мин

Охлаждающая жидкость (рекомендуемая) дистиллированная вода, 20 % раствор этилового спирта в дистиллированной воде по ГОСТ 6709-72

Для различных применений есть специальные исполнений.

Магнетрон
Максимальная мощность 1000 Вт
Рабочий газ Аргон
Диаметр мишени 95..100 мм
Диапазон рабочих давлений 0,07..10 Па
Максимальная толщина мишени 6 мм
Рабочее напряжение, В 300-800 В
Максимальный ток, А 10 А

Написать отзыв

Внимание: HTML не поддерживается! Используйте обычный текст!
    Плохо           Хорошо
Captcha

Магнетрон круглый D100

  • Производитель: Beams&Plasmas
  • Код товара: ЛЦМК.237
  • Доступность: На складе

Доступные опции