Генератор линейного потока ионов рабочего газа с энергией до 2500 эВ для широкого спектра применений.
Газоразрядные источники ионов, генерирующие протяжённые пучки.
По принципу действия - ускоритель с анодным слоем (УАС).
Высокая однородность распределения плотности ионного тока вдоль источника делает его оптимальным выбором для обработки подложек на барабане или карусели.
Линейный источник ионов с высокой однородностью плотности ионного тока по ширине пучка. Длина зоны равномерности 350 мм.
Ионные источники применяются для:
| Электрические параметры | |
| Напряжение питания, В | 500-5000 В |
| Ионный источник | |
| Длина пучка | 370 мм |
| Форма пучка | Полый прямоугольный |
| Ширина пучка | 42 мм |
| Толщина пучка | 5 мм |
| Максимальный ток пучка, мА | 600 мА |
Нет отзывов об этом товаре.